目录简介 目录
前 言
引 言
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 原理
5 装置和材料
6 测试程序
7 修正值
8 结果的表达
9 验收准则
10 测试报告
附录 A (资料性附录) 在粗糙表面上根据已知膜厚校正仪器的方法
附录 B (资料性附录) 多个读数
附录 C (资料性附录) 需要特别考虑的区域
附录 D (资料性附录) 特别修正值的确定
附录 E (资料性附录) 测试报告样式
参考文献
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